三星電子已開始開發“智能傳感系統”，旨在提高產量并改變半導體工廠的運營方式。該系統主要用于實時監控和分析生產過程，目前可以自動處理等離子體均勻性。三星最終計劃到2030年使其芯片工廠無需人工操作，實現完全自動化。

　　三星的最終目標是到2030年擁有完全無人化的半導體生產設施。實現這一目標需要開發能夠管理大量數據并自動優化設備性能的系統。智能傳感系統是該計劃的重要組成部分，預計將在使這些智能、全自動晶圓廠成為現實的過程中發揮至關重要的作用。三星目前正在向智能傳感器等項目投資數千萬韓元，并希望獲得長期投資回報。

　　目前正在開發的智能傳感器旨在測量晶圓上等離子體的均勻性。因為半導體制造中的蝕刻、沉積和清洗等工藝的結果很大程度上受到等離子體均勻性的影響，因此在這方面的精確測量和管理至關重要。

　　該智能傳感系統的開發是團隊合作的成果，涉及合作伙伴和學術機構的合作。這些新型傳感器的重要特點是它們的尺寸很小巧：可以安裝到現有的晶圓廠中，并且不需要額外的空間，這在潔凈室中非常寶貴。

　　值得注意的是，這些傳感器是在韓國設計和制造的。三星等韓國芯片制造商傳統上嚴重依賴外國設備來實現此類先進工藝。開發自主的智能感知系統標志著這一依賴關系的顯著改變，盡管三星使用的大多數設備仍在國外生產。