全球知名半導體制造商羅姆(總部位于日本京都市)為了增強SiC功率元器件的產能,在ROHM Apollo Co.,Ltd.(總部位于日本福岡縣)筑后工廠投建了新廠房。該廠房于2019年2月開工,于近日完工并舉行了竣工儀式。

　　新廠房將配備融入了各種節能技術的生產設備,并使用100%可再生能源發電,是全新環保型工廠。

　　此外,還將引進各種災害對策,并增強BCM(業務連續性管理)體制。從2021年1月起將逐步開始安裝生產設備,并建立可滿足SiC功率元器件中長期增長需求的生產系統。

　　羅姆自2010年開始量產SiC功率元器件(SiC SBD、SiC MOSFET)以來,一直在推進業內先進的技術開發,并較早實現了全SiC功率模塊和溝槽結構SiC MOSFET的量產。 不僅如此,在制造方面,還建立了羅姆集團引以為豪的垂直統合型生產體制,并通過擴大晶圓的口徑和引進新設備來提高生產效率,同時還致力于減輕生產過程中造成的環境負荷。

　　不僅羅姆阿波羅筑后的這棟新廠房,在羅姆集團旗下的SiC晶圓制造商SiCrystal GmbH(德國)工廠,也計劃從下一年度開始啟用可再生能源利用率100%的生產,該工廠因購買電力而產生的二氧化碳排放量將為零。這些舉措將使SiC晶圓的主要生產工序全部成為利用可再生能源的環保型生產系統。

　　隨著全球能源問題的突顯,采取相應的對策已成為當務之急。SiC功率元器件有望成為電動汽車和工業設備節能的關鍵器件,未來,羅姆集團將繼續努力提高SiC功率元器件的性能,同時將通過引進其生產過程中的環保型設備和利用可再生能源,為減輕環境負荷做出貢獻。

　　<新廠房的特點>

　　新廠房在節能方面做出了極大努力,通過采用可有效利用廢熱的高效空調并引進純水生產設備和LED照明,與以往設備相比,CO2排放量減少20%(約7,000t)。

　　此外,作為能夠應對各種災難的工廠,除了包括附帶區域在內均采用避震結構等地震對策外,還預備了浸水應對措施,并配備了氣體滅火設備和應急發電機等設備。

　　<羅姆集團在生產制造方面的環保舉措>

　　羅姆集團通過采用ISO 14001環境管理體系的工廠來實施生產,以更大程度地減少全球環境負荷(化學物質和廢物排放等),實現循環型經營。

　　此外,面對全球變暖,為了減少溫室氣體排放,羅姆通過建設智能工廠和使用可再生能源,積極打造能夠減輕全球環境負荷的機制和生產技術。

　　在羅姆阿波羅筑后工廠,2019年引進了可再生能源,并逐步增加了來自可再生能源的電力使用量。未來,羅姆集團將繼續努力減少生產制造過程中造成的環境負荷,并通過充分利用可再生能源等舉措,為客戶提供環保型產品,為實現無碳社會貢獻力量。