據每日經濟新聞報道，世界光刻機巨頭ASML亮相第三屆進博會。作為全球唯一能生產EUV光刻機的企業，由于ASML目前仍不能向中國出口EUV光刻機，所以此次展示的是其DUV光刻機。據了解，該產品可生產7nm及以上制程芯片。

　　另外，ASML也帶來了其整體光刻解決方案，包括先進控制能力的光刻機臺計算光刻和測量通過建模、仿真、分析等技術，讓邊緣定位精度不斷提高。

　　作為全球芯片光刻技術的領導者，本次ASML(阿斯麥)以“光刻未來，攜手同行”為主題亮相第三屆進博會技術裝備展區。時間是2020年11月5日至10日，位于技術裝備展區3C6-002。

　　光刻機(MaskAligner)又名掩模對準曝光機，曝光系統，光刻系統等，是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術，把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上。