西人馬產品總監謝巍博士：MEMS壓力傳感器在民用航空領域中的應用

2020年09月25日 09:21:14 來源：中文科技資訊

　　9月24日，中國(上海)國際傳感器與應用技術展覽會進行到第二天，西人馬除了發布塔斯云平臺等新品之外，還帶來了多款重點產品。

　　MEMS壓力傳感器產品是西人馬的明星產品，為了滿足市場對不同應用場景的需求，西人馬一直在擴充自己的MEMS壓力傳感器產品矩陣。

　　中高溫傳感器一直是MEMS壓力傳感器中難度較大的一個領域，迫于技術壓力，國內很少有企業成功研發并生產出中高溫壓力傳感器，民用航空領域一直使用國外進口產品，價格較為昂貴。西人馬是由民用航空傳感器產品起家，擁有滑油傳感器、加速度傳感器等先進的航空傳感器產品。在看到國內中高溫壓力傳感器的空白之后，西人馬決心用自主創新技術攻克行業難題，給民用航空領域的客戶更多選擇性。目前，西人馬已研發生產出從常溫到高溫的一系列MEMS壓力傳感器，能夠廣泛應用于民用航空領域。

　　9月24日下午的第五屆壓力傳感器創新產業論壇現場，西人馬公司產品總監謝巍先生進行了“MEMS壓力傳感器產品及其在航空測試中的應用”的主旨演講，深入講解了西人馬產品在民用航空領域中的應用與優勢。

　　▲西人馬公司產品總監謝巍先生在現場進行講解

　　西人馬民用航空領域的MEMS壓力系列產品主要是壓阻式壓力芯片及傳感器，包括高溫壓力芯片、常溫動態壓力傳感器、高精度壓力傳感器、超薄動態壓力傳感器和高溫動態壓力傳感器。

　　作為知名的芯片IDM公司，西人馬芯片采用全自主設計，不需要依靠傳統EDA軟件設計庫，具備從深亞微米制程中進行大規模數模混合SoC集成電路的自主開發及設計能力以及基于MEMS傳感器芯片工藝開發能力。并且，西人馬在2018年取得了AS9100D航空航天質量管理體系認證，近日，經過世界知名認證機構DNV審核組為期5天的現場審核，西人馬通過2020年AS9100D航空航天質量管理體系年度審核。西人馬在質量管控方面追求品質零缺陷，致力在提升客戶滿意度的同時打造綠色環保的生產制造環境。

　　CD0304/CD0305系列中高溫壓力芯片

　　西人馬CD0304/CD0305系列芯片能夠在-40℃~260℃的環境中使用，分別適用于15psi量程的絕壓測量和50psi量程的絕壓測量，綜合精度-0.5% FSO ~ +0.5% FSO，能夠應用于無腐蝕性、非離子的工作流體，如清潔干燥的空氣、干燥的氣體等。

　　芯片采用獨有的阻條及金屬焊盤設計技術，制備出能承受高溫、電連接可靠且溫飄性能優良的橋臂電阻和金屬焊盤。自主開發多層SOI晶圓制備工藝，基于此工藝的中溫壓力芯片尺寸更小、性能一致性更好。