中國臺灣高雄除了臺積電三座2nm晶圓廠外，還可容納2nm以下技術設廠需求。近日有消息稱，臺積電將于高雄推進A14(14埃米，1.4nm)制程，高雄地方部門已盤點下一代先進技術生產的土地需求及水電供給。

　　對此，臺積電表示不回應市場傳言。

　　消息稱，臺積電在楠梓園區增設第3座晶圓廠是2nm制程，高雄市積極解決水電、土地及周圍生活需求等問題，據悉，楠梓園區用地可供臺積電興建5座晶圓廠，業界傳出第4、5廠晶圓廠朝A14制程布局，只待臺積電公布。

　　據悉，臺積電在楠梓首座2nm制程技術晶圓廠預計2025年量產，其產值將較3nm更高。知情人士稱，未來2nm制程會應用于高性能計算(HPC)和智能手機應用領域，還有電動汽車、自動駕駛汽車等，臺積電向來超前研發先進技術，為未來市場布局。

　　對于A14制程，半導體設備行業人士援引臺積電制定的High-NA EUV路線圖指出，臺積電A14制程將于2026年上半年進行風險試產，最快2027年第三季度量產，量產初期仍主要采用ASML第三代標準型EUV設備NXE:3800E。

　　此外臺積電臺中中科新廠，業界也傳出會采用2nm以下制程技術。